Интегрална схема, изработена на повърхността на полупроводников чип, се нарича още тънкослойна интегрална схема. Друг тип дебело-филмова интегрална схема (хибридна интегрална схема) е миниатюризирана верига, съставена от независими полупроводникови устройства и пасивни компоненти, интегрирани в субстрат или платка.
От 1949 до 1957 г. Вернер Джакоби, Джефри Дюмър, Сидни Дарлингтън, Ясуо Таруи разработват прототип, но модерните интегрални схеми са измислени от Джак Килби през 1958. За това той печели Нобелова награда за физика през 2000 г., но Робърт Нойс, който също така разработва модерна и практична интегрална схема по същото време, умира още през 1990 г.